ОРГАНИЗАЦИЯ МИНИ-ФАБРИКИ
Мини-фабрика НИИСИ РАН создана для мелкосерийного производства отечественных высокосложных микросхем промышленного назначения с расширенным температурным диапазоном функционирования.
РАЗВИТИЕ ПРОИЗВОДСТВА ОСУЩЕСТВЛЯЛОСЬ В ОБЕСПЕЧЕНИЕ ДВУХ НАПРАВЛЕНИЙ:
- разработки современных технологических решений при изготовлении микросхем;
- апробации разработанных решений в рамках мелкосерийного и единичного производства СБИС.
РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ПРОВОДИЛАСЬ В СЛЕДУЮЩИХ УСЛОВИЯХ:
- минимальная номенклатура средств технологического оснащения, обеспечивающая, тем не менее, решение всего круга производственных задач по изготовлению и испытаниям современных СБИС;
- минимальная номенклатура контрольно-измерительного и испытательного оборудования, ориентированного, тем не менее, на обеспечение всеобъемлющей и достоверной оценки качества и надежности изделий;
- минимальная численность персонала, ориентированного, тем не менее, на высококвалифицированные решения всего объема стоящих перед ним организационных и технических задач.
ЭТИ УСЛОВИЯ ОПРЕДЕЛИЛИ:
- гибкость создаваемой производственной системы (переход от экспериментирования к серийному производству и наоборот);
- тотальную автоматизацию всего производственного процесса, обеспечивающую выполнение производственных задач с минимальными затратами времени и минимальным привлечением материальных и людских ресурсов.
ТЕХНИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ
ОСНОВНЫЕ РЕШЕНИЯ МИНИ-ФАБРИКИ НИИСИ РАН:
- жесткая регламентация проведения технологических экспериментов в сочетании с изготовлением серийной продукции в рамках единого производственного процесса;
- разработка микросхем на основе аттестованных правил проектирования (библиотек), включая обеспечение и контроль адекватности проекта процессу;
- изготовление широкой номенклатуры СБИС с использованием базовых технологических процессов;
- внедрение тотальной системы статистического контроля производственного процесса изготовления СБИС;
- сокращение объема контрольных испытаний за счет использования принципов конструктивно-технологического подобия:
- группирование кристаллов микросхем по базовым технологическим процессам;
- группирование микросхем по типоразмерам корпусов («группам типов»);
- проведение испытаний в форсированных режимах.
- сокращение номенклатуры технологической и испытательной оснастки за счет унификации конструкции СБИС и единых режимов испытаний;
- обеспечение возможности оценки надежности аккумулированием результатов испытаний конструктивно и технологически подобных СБИС.
РЕЗУЛЬТАТЫ
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ:
- разработаны и характеризованы базовые технологические процессы КМОП 0,5, КМОП 0,35, КМОП КНИ 0,5 и КМОП КНИ 0,35. Завершается разработка процесса КМОП 0,25;
- разработаны соответствующие правила и библиотеки проектирования Lib 05 и Lib SOI 05, ориентированная на разработку СБИС космического применения;
- значительно сокращено время разработки микросхемы - от замысла до освоения производства;
- минимизировано число итераций при разработке СБИС за счет строгого соблюдения правил проектирования и поддержания технологического процесса в неизменно стабильном состоянии (реализован принцип first pass success);
- разработано и изготовлено более 30 СБИС;
- более чем в десять раз сокращено время на подготовку технологической документации за счет применения базовых технологических решений;
- в 2 - 4 раза сокращена длительность проверок и испытаний за счет использования принципов конструктивно-технологического подобия и форсирования режимов испытаний при сохранении достоверности результатов;
- отлажена процедура взаимодействия изготовитель - сторонний разработчик на основе применения базовых технологических процессов (в режимах fabless/foundry).